集成电路供应链项目建成 国产20nm技术研发线预计明年投产
发布日期:2021-03-02        



 
 
集成电路是集多种创新技术于一体的高科技产品,几乎存在于所有工业部门,其不仅是当今世界竞争激烈、发展迅速的产业,也是技术资金密集、技术进步快和投资风险高的产业。目前,中国集成电路产业已有了一定的产业基础,但中国国内市场需求和世界上经济发达国家相比仍有相当的距离,存在产品设计开发能力弱、水平低、生产技术水平不高等问题。
 
  
面对国内外集成电路广阔的市场需求和发展机遇,大力发展中国的集成电路产业是国民经济信息化和实现中国国民经济发展第三步战略目标的迫切需求,也是增强中国在下一个世界综合经济实力和竞争实力的必然要求。为此,集成电路供应链及先导技术产业创新中心项目提上了日程。
 
  
2月20日,集成电路供应链及先导技术产业创新中心项目进行了环评公示,最终由北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司建设本项目。根据公告可知,本项目总投资51.37亿元,建筑面积约25385.1平方米。
 
  
公告显示,本项目产品定位是用于先进图像传感器、65nm~28nm及以下逻辑技术研发线的建设,达到或接近国际同类产品的技术指标;项目特点是建成后,可为12英寸晶圆生产线提供厂房及动力配套设备,并为多个工艺验证及技术创新研发平台提供场地及设施;工艺特点是新建项目将建设集成电路国产验证中试线,产能为每月约3000片12英寸晶圆,工艺制程以65nm~28nm及以下为主。
 
  
此外,本项目严格遵循了相关环境保护法规:对于离子注入工序中使用的砷化氢,本项目通过优化废气收集系统,对其进行单独收集处理,避免与其他废气混合排放;动力设施中空气压缩机组、中央空调机组广泛采用热回收技术,利用制冷机冷凝器冷却水余热生产热水,既消除了其他加热方式的综合能耗,也减少了冷却塔运行负荷。
 
  
项目预计投产时间为2022年9月,相信本项目能满足不断增长的市场需求,提高规模生产效益,提升产业技术水平,同时更好地服务于中国本土设计企业,并为国内的半导体装备、材料及工艺开发提供先进支撑平台。
 

来源:中国仪表网
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